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原子层沉积系统采购项目(三次)公开招标招标公告
项目概况
受福州大学委托，厦门 ******限公司 对[3500]GWCG[GK]****-2、原子层沉积系统采购项目(三次)组织公开招标，现欢迎国内合格的供应商前来参加。原子层沉积系统采购项目(三次)的潜在投标***采购网(fujian.****.cn)免费申请***采购网上公开信息系统按项目获取采购文件，并于****-**-**日 09时00分00秒（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：[3500]GWCG[GK]****-2
项目名称：***(三次)
采购方式：***
预算金额：***,000.00元
采购包1(原子层沉积系统采购项目):
采购包预算金额：***,000.00元
采购包最高限价：***,000.00元
投标保证金：***,900.00元
采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）
| 品目号 | 品目编码及品目名称 | 采购标的 | 数量（单位） | 允许进口 | 简要需求或要求 | 品目预算(元) | 中小企业划分标准所属行业 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1-1 | A****-其他仪器仪表 | 原子层沉积系统 | 1(套) | 否 | 1、反应腔系统 ★1) 样品台为不小于4英寸双腔腔体，加热温度范围：***℃，并且操作者可以控制设置，控制精度≤1 ℃，直径100 mm基底范围内温度均一性2 ℃； 2) 样品台直径100 mm，可以生长4英寸晶圆及以下尺寸样品； 3) 4路液源，3路载气辅助源； ▲4) 设备可用于沉积单一薄膜、纳米叠层与梯度薄膜的沉积和掺杂质等；可在纳米孔洞、台阶等高深宽比的纳米结构上沉积薄膜，具有良好的台阶覆盖性； ▲5) 设备本底真空小于或等于1 Pa，腔体漏率小于或等于5×10-10Pa·m3/s。 2、前驱体源输送系统 1) 为减少薄膜在前驱体输送管路内的污染，前源输送管路与金属前驱体源输送管路单独进入反应腔体。 ★2) 配备6路金属前驱体源输送管路，加热源3路，载气辅助源3路，配备载气管路和质量流量控制器。 ★3) 金属前驱体源输送管路均包裹在加热套中，最高加热温度250 ℃。配置温度传感器，温度控制精度≤±1℃。 ▲4) 每路管路配备ALD专用阀门，为自带吹扫功能的三孔阀，响应时间小于5 ms，采用耐高温执行器，耐温200 ℃，阀体材料为不锈钢。阀体内置有直径为1/8英寸的加热器，外包保温套，最高加热温度200 ℃，温度控制精度≤±1 ℃。 ▲5) 每路加热源输送管路和载气辅助源输送系统，分别配备1个ALD专用阀门、1套加热源容器以及加热保温系统。加热源容器加热保温套，最高加热温度可达250 ℃，温度控制精度≤±1 ℃。 6) 管路及接头均采用电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封；载气管路采用N2或者Ar气体，通过质量流量控制器控制；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以根据需求设置自动清洗的次数。 3、等离子体源及控制 1) 采用电感耦合等离子体(ICP)发生器，电极与衬底距离不小于200 mm； ▲2) 提供2路可用于等离子体工艺气路，包含ALD专用隔膜阀和流量控制器； 3) 独立进气口，与金属前驱体源、氧源分开； ▲4) 采用13.56 MHz射频电源，功率1%-100%可调，配备自动匹配器，匹配时间≤5秒。 5) 等离子体系统与控制界面集成，可在界面上查看等离子体入射功率及反射功率的实时动态曲线和历史曲线，便于分析实验数据。 4、臭氧源系统：***) 配备臭氧发生器、臭氧破坏器、控制臭氧的质量流量控制器； ▲2) 臭氧发生器产量 | 990,000.00 | 工业 |
本采购包不接受联合体投标
合同履行期限：***
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：***
采购包1：***
3.本项目的特定资格要求：
采购包1：***
三、采购项目需要落实的政府采购政策
进口产品：***
节能产品：***，按照《节能产品政府采购品目清单》执行
环境标志产品：***，按照《环境标志产品政府采购品目清单》执行
信息安全产品：***
信用记录：***
四、获取招标文件
时间：*******-**-** 至 ****-**-** ，（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午00:***:***:***:***，下午12:***:***:***:***（北京时间，法定节假日除外）
地点：***；投标人***采购网(fujian.****.cn)免费申请***采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地，登录对应的(省本级/市级/区县)）***采购网上公开信息系统操作)，否则投标将被拒绝。
方式：***
售价：***
五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
****-**-** 09:***:***（北京时间）（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止，不得少于20日）
地点：***楼8号楼716室开标室
六、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
七、其他补充事宜
招标公告项目基本情况中的“简要需求或要求”以招标文件中的技术要求为准。
八、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名称：***
地址：***
联系方式：***-****
2.采购代理机构信息（如有）
名称：*********限公司
地址：***单元
联系方式：***-****
3.项目联系方式
项目联系人：***
电话：***-****
网址：***.****.cn
开户名：*********限公司
厦门 ******限公司
****-**-**日
相关附件：***
