复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所电子束蒸镀机等仪器设备采购项目的更正公告

浙江 2023-11-24 17310690583
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复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所电子束蒸镀机等仪器设备采购项目的更正公告

一、项目基本情况

原公告的采购项目编号:***(NBITC-****7G)

原公告的采购项目名称:***器件研究所电子束蒸镀机等仪器设备采购项目

首次公告日期:****-**-**日

二、更正信息

更正事项:***

更正内容:

序号

更正项

更正前内容

更正后内容

1

第五章 招标内容与技术需求

标项3:***(晶圆表面)

表B技术需求表

3.6占地面积≤2.45m²

★3.6占地面积≤2.45m²

2

★4设备性能要求

4设备性能要求

3

★4.7检测结果:

定义致命缺陷并生成良率分布图

缺陷坐标显示与导出

检测数据重分析

Link功能:***

★4.7检测结果:

定义致命缺陷并生成良率分布图

缺陷坐标显示与导出

检测数据重分析

Link功能:***

支持Klarf文件格式

4

/

新增:

★4.14测量能力:***μm及以上的厚外延

更正日期:****-**-**日

三、其他补充事宜

招标文件以前所述与本《招标文件更正公告》内容不符处或相关内容有不一致的,均以本《招标文件更正公告》为准,本《招标文件更正公告》作为本项目招标文件的组成部分。

四、对本次公告提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名称:***

地址:***1栋

传真:/

项目联系人(询问):***

项目联系方式(询问):***-****

质疑联系人:***

质疑联系方式:***-****

2.采购代理机构信息

名称 ******限公司

地址:***茂茂悦商业中心1号楼七、八楼

传真:/

项目联系人(询问):***、邓牟雪

项目联系方式(询问):***-****

质疑联系人:***

质疑联系方式:***-****

3.同级政府采购监督管理部门

名称:***

地址:***

传真:/

联系人:***

监督投诉电话:***-****

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