北京大学重庆碳基集成电路研究院低温等离子体去胶机采购项目公开招标公告

重庆 2024-03-06 17310690583
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北京大学重庆碳基集成电路研究院低温等离子体去胶机采购项目公开招标公告

公告概要:

公告信息:
采购项目名称北京大学重庆碳基集成电路研究院低温等离子体去胶机采购项目
品目

货物/设备/仪器仪表/其他仪器仪表

采购单位北京大学重庆碳基集成电路研究院
行政区域重庆市公告时间****-**-**日 12:***
获取招标文件时间****-**-**日至****-**-**日
每日上午:***:***:***:***:***:***(北京时间,法定节假日除外)
招标文件售价¥600
获取招标文件的地点登录http://www.****.com/注册并购买。
开标时间****-**-**日 09:***
开标地点北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅(一)
预算金额¥**0万元 (人民币)
联系人及联系方式:
项目联系人王军
项目联系电话010-****
采购单位北京大学重庆碳基集成电路研究院
采购单位地址重庆市沙坪坝区西永大道36号附3号研发楼三期7号楼一层
采购单位联系方式朱老师 zhujig ****** tsinghua.****.cn
代理机构名称 ******任公司
代理机构地址北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
代理机构联系方式王军、郭宇涵、李雯、余睿;010-****;010-****
附件:
附件1第六章 技术要求 ****** docx

项目概况

北京大学重庆碳基集成电路研究院低温等离子体去胶机采购项目 招标项目的潜在投标人应在登录http://www.****.com/注册并购买。获取招标文件,并于****-**-**日 09点30分(北京时间)前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号:***-G****0

项目名称:***体去胶机采购项目

预算金额:***.000000 万元(人民币)

最高限价(如有):***.000000 万元(人民币)

采购需求:

包号

货物名称

数量

简要技术规格

是否允许采购进口产品

采购

预算

1

低温等离子体去胶机

1台设备

适用200mm notch的晶圆工艺;

具备O2、N2、CF4、3%H2/Ar气体,可实现8英吋晶圆的100ºC以下光刻胶去除工艺;

去胶速率:***,稳定实现最低900A/min及以上不同速率的能力,@100ºC;

片内去胶速率均一性(49pt contour map, EE5mm) ≤10%;

片间去胶速率均一性(49pt contour map, EE5mm) ≤10%;

6)0.20um以上颗粒,测试增加值≤10颗,0.20um以下颗粒,测试增加值≤40颗。

360

万元

注:

1)投标人须对整个包中全部内容进行投标,不得转包、分包。评标、授标以整个包为单位。具体技术要求详见招标公告所附附件(即,本招标文件第六章)。

合同履行期限:***。

本项目(不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求:

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

2.落实政府采购政策需满足的资格要求:

本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。

3.本项目的特定资格要求:***) 投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定;(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件:(一)具有独立承担民事责任的能力;(二)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;(三)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;(四)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;(五)参加政府采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录;(六)法律、行政法规规定的其他条件。)2) 投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可;3) 投标人按照招标公告要求购买了招标文件;4) 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。5) 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得参加本项目投标;6) 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一合同项下的政府采购活动;8)本项目不接受联合体投标。

三、获取招标文件

时间:****-**-**日 至****-**-**日,每天上午9:***:***,下午12:***:***。(北京时间,法定节假日除外)

地点:***://www.****.com/注册并购买。

方式:***“东方招标”平台(http://www.****.com/),点击“获取采购文件”链接图标,或直接输入访问地址(http://www.****.com/pages/sign_in.html?page=mine)完成投标人注册手续(免费),然后登陆系统寻找有意向参与的项目,已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价:***。如决定购买招标文件,请完成标书款缴费及标书下载手续。

售价:¥600.0 元,本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间:****-**-**日 09点30分(北京时间)

开标时间:****-**-**日 09点30分(北京时间)

地点:***层东方厅(一)

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1、投标文件递交地点:***层东方厅(一)

2、招标文件采用网上电子发售购买方式:

1)登陆“东方招标”平台(http://www.****.com/),点击“获取采购文件”链接图标,或直接输入访问地址(http://www.****.com/pages/sign_in.html?page=mine)完成投标人注册手续(免费),然后登陆系统寻找有意向参与的项目,已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价:***。如决定购买招标文件,请完成标书款缴费及标书下载手续。

2)投标人可以电汇的形式支付标书款、 ******以公司 名义汇款至下述指定账号)。

开户名称:*********任公司

开户行:***

账 号:********

3)投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后,标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱,投标人自行下载打印。

3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的,须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途(如未标明招标编号,有可能导致投标无效)。

4、采购项目需要落实的政府采购政策:

(1)政府采购促进中小企业发展

(2)政府采购支持监狱企业发展

(3)政府采购促进残疾人就业

(4)政府采购鼓励采购节能环保产品

七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称:***

地址:***三期7号楼一层

联系方式:********* tsinghua.****.cn

2.采购代理机构信息

名 称:*********任公司

地 址:***层

联系方式:***、郭宇涵、李雯、余睿;010-****;010-****

3.项目联系方式

项目联系人:***

电 话:***-****

信息来源:***://ccgp.****.cn/cggg/dfgg/gkzb/202403/t****_****.htm

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