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工科物理实验建设(六期)-磁控溅射系统(JJ****)采购公告
项目名称 | 工科物理实验建设(六期)-磁控溅射系统 | 项目编号 | JJ**** |
公告开始日期 | ****-**-** 09:***:*** | 公告截止日期 | ****-**-** 11:***:*** |
采购单位 | 东北大学 | 付款方式 | 货到验收付款 |
联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后5个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后60个工作日内 |
预算总价 | 24 ****** 0 | 发票要求 | |
收货地址 | 辽宁省沈阳市和平区文化路3巷东北大学建筑学馆 | 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
公告说明 | |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
磁控溅射系统 | 1 | 台 | 其他仪器仪表 |
品牌 | 杭州大华 |
型号 | Table PVD-10 |
预算单价 | 24 ****** 0 |
技术参数及配置要求 | 1、溅射腔体:***Φ250×H300mm;304不锈钢焊接腔体,圆柱式,前开门配观察窗;后置抽气系统; 2、真空系统 2.1 抽气系统 1)机械泵+分子泵两级真空系统 2)前级泵:***-16机械泵及电磁压差式充气阀,抽速:***/S 3)主抽泵:***,抽气速率:***/S 接口法兰:***,转速:***:***×10-7Pa 4)主抽阀:***-63 超高真空电动闸板阀,用于分子泵与沉积室隔离,可调节分子泵抽速从而可以降低工艺气体流量,有利于稳定工艺气压。 5)旁抽、前级阀门:***-J16 6)放气阀:***(DJ2C-6)用于真空室解除及真空充气使用。 2.2 真空测量:***,测量范围:***×105~1×10-5Pa;真空测量采用“一低一高” 2.3系统性能指标 1)极限真空度:***.5×10-5Pa (连续抽气24小时达到) 2)恢复真空:***×10-4Pa≤45分钟(充干燥氮气并且真空室内无放气量大的材料) 3)真空室漏率:***≤5Pa。(新设备空载,极限真空后关机) 4、磁控溅射靶 数量:***)磁控溅射靶磁路模块化设计,靶材直接水冷;磁铁不泡水,避免磁铁腐蚀退磁;磁路模块化,方便不同应用随时更换; 2)靶材大小为直径50.8mm,建议厚度≤5mm,靶材利用率超过40% 3)镀膜方式:***;共焦(溅射靶角度可调) 4)镀膜均匀性:***±5%; 5、样品台 1)样品台:***(方片尺寸60×60mm)可以根据客户样品形状和大小定制样品托。 2)样品台旋转:***-30rpm连续可调;步进电机控制,转动平稳。 3)样品台加热:***,最高温度300℃,自动控温及数字显示,精度±0.5℃,可设定升温斜率。加热区内,温度均匀性±5℃。 4)样品台上方设置气动基片挡板; 6、溅射电源 1)射频电源:***,频率13.56MHz,全自动匹配一体机;数量1套 2)直流溅射电源:***:***;输出电压:***~-800V可调 数量1套 7、工艺气路 质量流量计控制器,最大流量200sccm一路,可向真空腔体中通入惰性气体; 配有电磁截止阀控制进气。 8、控制单元 1)采用PLC+触摸屏控制,可实现自动一键式抽真空,溅射电源手动以方便用户进行镀膜工艺参数的索; 2)控制内容:***、分子泵、机械泵、阀门;分子泵电源参数显示及开关控制;真空计、质量流量控制器参数显示及控制;基片台转速控制;基片加热温度控制等; 3)安全保护报警系统:***、水压过低、电源过流、短路等异常情况执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统。 9、工业冷水机 采用微电脑PLC控制,可自动控制整机运行,全功能防错操作系统,电气部分均为国际品牌,保证机器工作稳定,寿命长久。全钛管式水箱蒸发器,防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器,能精确控制水温±1℃,按键式操作,安装简便,静电喷塑外壳,欧化设计,美观大方,外表板采用快速拆装形式。 1)标准制冷量:***/h 2) 输入功率:***.29 kw 3)冷冻水量(m3/h):***.59 4)水箱容量(L):***)安全保护:***,过流,高低压力,超温,流量,相序,排气过热保护 6)外形尺寸:***×宽440mm×高770mm |
售后服务 | 商品承诺:***/安装调试/技术培训;需提供免费上门技术培训,有专门技术工程师负责指导使用,培训内容包括:***、实验操作、电气控制的使用、仪器维护、安全要点以及其他相关内容;质保期内设备的维修免费(人为损坏因素除外);每年免费提供2次设备巡检,能够对设备进行长期维护和检修;随时跟踪设备运行及维护,保证设备正常运行;; |
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