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电子束刻蚀代加工采购项目比价公告
一、项目名称：***
二、项目编号：***-YKQYJC-F4011
项目预算：***.5万元
三、项目概况：
1 | 技术服务要求 | 设备名称 | 规格参数 | 计量单位 | 数量 | 备注 | ||
电子束刻蚀代加工 | 技术要求: 在我方所提供的MQW外延片上生长300nm厚非晶硅薄膜，并在非晶硅薄膜 上用电子束曝光刻蚀（EBL）我方图纸要求的光子晶体图案，且含清洗-镀膜-涂胶显影-EBL光刻-硬掩模-去胶-刻蚀-去硬掩模-表征，其中刻蚀要求如下： 非晶硅镀膜厚度误差：± 5% 线宽加工误差：***＜200nm ±10nm 线宽＞200nm ± 5% 刻蚀深度误差：± 5% 刻蚀陡直度：***°± 3° 样品需提供线宽及刻蚀深度表征结果。 根据图纸变化，其中我方可使用EBL机时大于等于31小时。 | 项 | 1 | |||||
2 | 商务服务要求 | 付款方式 | 供货、安装周期 | 质保期 | 交货 地点 | 保密要求 | ||
货到验收合格后，付款100%货款 | 合同签订后20个工作日 | 1年 | 湖南省 长沙市 | 甲、乙双方在采购和履行合同过程中所获悉的对方属于保密的内容，甲乙双方均有保密义务。 | ||||
说明 | 1.报价方须对所报价包内所有产品和数量进行报价，否则视为无效报价。 2.运杂费：***，并提供免费上门安装调试及支持服务。 3.比价方法：***、技术服务及商务服务要求的基础上，价格最低者为成交供应商 | |||||||
四、供应商资格条件：
（一）具有企（事）业法人资格（有行业特殊的银行、保险、电力、电信等法人分支机构，会计师、律师等非法人组织，行业协会等社会团体法人除外）；
（二）国有企业；事业单位；军队单位；成立三年以上的非外资（含港澳台）独资或控股企业，国内市场无类似或可替代产品的企业除外。
（三）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
（五）参加军队采购活动前3年内，在经营活动中没有受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、200万元以上罚款等重大违法记录；
（六）未被列入政府采购失信名单、军队采购暂停名单，未在军队采购失信名单禁入处罚期内，未被政府主管部门列入违法失信名单、重大税收违法案件当事人。
（七）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包的采购活动。生产型企业的生产场经营地址或者注册登记地址为同一地址的，非国有销售型企业的股东和管理人员（法定代表人、董事、监事）之间存在近亲属、相互占股等关联的，也不得同时参加同一包的采购活动。近亲属指夫妻、直系血亲、三代以内旁系血亲或近姻亲关系。
（八）法律、行政法规规定的其他条件。
（九）本项目不接受联合体投标。
五、公告时间、报名时间、报名方式
（一）公告时间：***5 月 10 日（上午09:***—12:***，下午14:***—17:***）（北京时间、节假日除外）。
（二）报名时间：***：***（可邮寄），在规定时间内收件成功即视为供应商报名成功。未密封或者未在规定时间内送达我单位的一律拒绝收取。
（三）提交材料：***价相关文件电子档。提交材料至少包含以下资料，缺少一项其比价文件将做无效处理；所有资料需加盖供应商公章、完善相关签名并密封。未盖公章视为报名无效。
1. 报价一览表
2. 相关资格证明文件；
3. 承诺函；
4. 售后服务承诺；
5. 保密承诺书；
6. 报价方认为需要加以说明的其它内容；
具体以附件的比价模板为准。
说明：***“三证合一”登记制度改革的新证，视同为持有工商营业执照、组织机构代码证和税务登记证，符合基本资格条件的相关条款，投标人具有实行了“五证合一”登记制度改革的新证，视同为持有工商营业执照、组织机构代码证、税务登记证和社会保险登记证，符合基本资格条件的相关条款。
六、本采购项目相关信息***采购网上发布。
七、比价时间
2024年 5 月 11 日 9：***（供应商无需到达比价现场）
八、联系方式
联 系 人：***
电 话：****700
地 址：***
邮政编码：***
